Dlc膜及びdlcコート金型

Dlc film and dlc coated mold

Film de carbone sous forme de diamant amorphe (dlc) et moule revêtu de dlc

Abstract

DLC膜をta-C、つまり、sp3/(sp2+sp3)構造比が0.5~0.9、水素含有量が0~5原子%、ナノインデンテーション硬さが40~100GPa、密度が2.7~3.4g/cm3であるDLCから成るものとし、基材上に成膜された表面に対する針先端曲率半径2μmの触針式表面形状測定器による測定送り0.01mmの表面走査検出において、基材の成膜前における被成膜面の算術平均粗さRa(S)に対するDLC膜面の算術平均粗さRa(D)の絶対値変化量ΔRa(=|Ra(S)-Ra(D)|)が0.75nm以下、且つ当該DLC膜面における高さ又は深さが20nm以上の凹凸の数が単位走査距離及び単位膜厚あたり0.01個/単位走査距離(mm)/単位膜厚(nm)以下のものとする。
This invention provides a DLC film comprising ta-C, that is, DLC having an sp3/(sp2 + sp3) structural ratio of 0.5 to 0.9, a hydrogen content of 0 to 5 atomic%, a nanoindentation hardness of 40 to 100 GPa, and a density of 2.7 to 3.4 g/cm3. In surface scanning detection at a measuring feed of 0.01 mm with a tracer-type surface shape measuring device having a tracer tip radius of curvature of 2 μm on the surface of a film formed on a base material, the absolute value change level of arithmetical mean roughness between the arithmetic mean roughness Ra (S) of a film forming face before the formation of a film on the base material and the arithmetic mean roughness Ra (D) of the DLC film face, i.e., ΔRa (= |Ra(S) - Ra(D)|), is not more than 0.75 nm, and the number of concavoconvexes having a height or depth of not less than 20 nm on the DLC film face is not more than 0.01/unit scanning distance (mm)/unit film thickness (nm).
Cette invention concerne un film de carbone sous forme de diamant amorphe (DLC) comprenant ta-C, autrement dit, un DLC ayant un rapport structural sp3/(sp2 + sp3) de 0,5 à 0,9, une teneur en hydrogène de 0 à 5 % atomiques, une dureté de nano-indentation de 40 à 100 GPa, et une masse volumique de 2,7 à 3,4 g/cm3. Dans la détection de balayage de surface à une alimentation de mesure de 0,01 mm avec un dispositif de mesure de forme de surface de type traceur ayant un rayon de courbure de pointe de traceur de 2 µm sur la surface d'un film formé sur un matériau de base, le niveau de changement de valeur absolue d'une rugosité moyenne arithmétique entre la rugosité moyenne arithmétique Ra (S) d'une face de formation de film avant la formation d'un film sur le matériau de base et la rugosité moyenne arithmétique Ra (D) de la face de film DLC, à savoir, ΔRa (= |Ra(S) - Ra(D)|), est non supérieure à 0,75 nm, et le nombre de concavo-convexes ayant une hauteur ou une profondeur non inférieure à 20 nm sur la face de film DLC est non supérieure à 0,01/distance de balayage unitaire (mm)/épaisseur de film unitaire (nm).

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Patent Citations (7)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2002285328-AOctober 03, 2002Fuji Electric Co Ltd, 富士電機株式会社Hard carbon coating film and member coated with the same film
    JP-2004300486-AOctober 28, 2004Fujitsu Ltd, 富士通株式会社Carbon protection film, method for depositing the same, magnetic recording medium having the carbon protection film, magnetic head, and magnetic storage device
    JP-2004315854-ANovember 11, 2004National Institute For Materials Science, 独立行政法人物質・材料研究機構光透過性カーボン系薄膜とその製造方法
    JP-2005018844-AJanuary 20, 2005Shimadzu Corp, 株式会社島津製作所複合成膜装置およびこれを用いた磁気ヘッドの保護膜形成方法
    JP-H0733451-AFebruary 03, 1995Minolta Co Ltd, ミノルタ株式会社Production of metallic mold for glass forming
    JP-H11180723-AJuly 06, 1999Canon Inc, キヤノン株式会社Production of optical glass molding
    JP-H1179759-AMarch 23, 1999Canon Inc, キヤノン株式会社光学素子成形用型の製造方法

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    Title

Cited By (11)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    CN-104039294-ASeptember 10, 2014宝理塑料株式会社预充式注射器用外筒的制造方法
    FR-3008905-A1January 30, 2015H E FPiece mecanique revetue d'une couche de carbone amorphe en vue de son glissement vis-a-vis d'un autre composant moins dur
    JP-2013091586-AMay 16, 2013Tatsuhiko Aizawa, 龍彦 相澤, Mitsue Mold Engineering Kk, ミツエ・モールド・エンジニアリング株式会社Pattern forming mold, and method for manufacturing the same
    JP-2013132393-AJuly 08, 2013Polyplastics Co, ポリプラスチックス株式会社Method for manufacturing outer tube for prefilled syringe
    JP-2013132394-AJuly 08, 2013Polyplastics Co, ポリプラスチックス株式会社プレフィルドシリンジ用外筒の製造方法、及び射出成形用金型の製造方法
    JP-WO2013146393-A1December 10, 2015カヤバ工業株式会社摺接部材及びピストンポンプ・モータ
    RU-2597323-C2September 10, 2016КейУайБи КорпорейшнЭлементы скольжения и поршневой насос/двигатель
    WO-2013099446-A1July 04, 2013ポリプラスチックス株式会社Procédé de fabrication de tube externe pour seringue préremplie
    WO-2013099447-A1July 04, 2013ポリプラスチックス株式会社プレフィルドシリンジ用外筒の製造方法、及び射出成形用金型の製造方法
    WO-2013146393-A1October 03, 2013カヤバ工業株式会社摺接部材及びピストンポンプ・モータ
    WO-2015011361-A1January 29, 2015H.E.F.Pièce mécanique revêtue d'une couche de carbone amorphe en vue de son glissement vis-à-vis d'un autre composant moins dur